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        聯系電話:010-51652878 / 13811002878

        RPS遠程等離子源

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        自由基等離子體源(遠程等離子體源)

        產品型號:MA3000C-713BB

        等離子體組件

        微波功率[W]: 3000
        頻率[MHz]: 2450
        過程氣體: O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4和其他氟機氣體 
        工藝流程: 蝕刻和沉積
        輸出連接器類型:ISO-K 63
        等離子體室材料: 陶瓷
        電源標稱電壓[V]: 230/208
        輸出連續波[W]: 3000
        外部尺寸[mm]: 310,20*346,50*488,30(寬*高*深)
        重量[kg]: 29

        聯系電話:13811002878

        產品詳細信息

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