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        聯系電話：010-51652878 / 13811002878
        
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                    
                    
                
        
            
        
            
        
        
    
        

    

    
        

    
        
        
        
            
        
                
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        【產品說明】微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機
        
                
        
                
        
                    
        
                        
        發布時間：
        
                        2020-12-1
                        
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                    微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機
        

        
基本參數：
        
微波功率3kW 頻率2.45GHz
        
工藝臺面尺寸320X320mm，
        
可處理100/150/200/300mm尺寸的晶圓片
        
各向同性刻蝕，無離子攻擊
        
對于硅樣品刻蝕率可達到90μm /min
        
對于200mm晶圓腐蝕率為3μm/min，
        
300mm晶圓腐蝕率為2.5μm/min
        
對于典型的SiN及BPSG 蝕刻率 1 μm/min，
        
典型熱氧化物 250 nm/min
        

        

        
	 

        
                
        
            
        
        
        
    
        

    
        
        
        
            
        
                
                
        
                    
        
                        
                        
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        北京市房山區天星街1號院綠地啟航社14號樓1705
        
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                    
          
                        
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