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        【產品說明】微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機

        微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機

        基本參數:
        微波功率3kW 頻率2.45GHz
        工藝臺面尺寸320X320mm,
        可處理100/150/200/300mm尺寸的晶圓片
        各向同性刻蝕,無離子攻擊
        對于硅樣品刻蝕率可達到90μm /min
        對于200mm晶圓腐蝕率為3μm/min,
        300mm晶圓腐蝕率為2.5μm/min
        對于典型的SiN及BPSG 蝕刻率 1 μm/min,
        典型熱氧化物 250 nm/min

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