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【產品說明】微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機
發布時間:
2020-12-1
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杰能達微波-德國MUEGGE中國總代理
微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機
基本參數:
微波功率3kW 頻率2.45GHz
工藝臺面尺寸320X320mm,
可處理100/150/200/300mm尺寸的晶圓片
各向同性刻蝕,無離子攻擊
對于硅樣品刻蝕率可達到90μm /min
對于200mm晶圓腐蝕率為3μm/min,
300mm晶圓腐蝕率為2.5μm/min
對于典型的SiN及BPSG 蝕刻率 1 μm/min,
典型熱氧化物 250 nm/min
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